Halfgeleider

BSLtech halfgeleideroplossing

Voor het ontwikkelen van jouw expertise binnen de halfgeleiderindustrie zijn vaak cleanrooms of laminaire flowkasten met een hoge ISO-klasse (ISO 5 of hoger) nodig. Heeft u te maken met UV-gevoelige processen? Ook dan levert BSL de juiste cleanroom. De cleanrooms zijn voorzien van een hoogwaardige wandafwerking en voorzien van verlichting met UV-filter. Door gebruik van antistatische (ESD) materialen en ionisatiestaven op het filtersysteem neutraliseert de statische lading in de lucht.

Wanneer ontgassen niet gewenst is, biedt BSL een cleanroom van niet-ontgassing materialen (PU). Deze technologie vindt zijn oorsprong in de lucht- en ruimtevaartindustrie.

Typische processen in de halfgeleiderindustrie:

● Bescherming van substraten en siliciumwafels
● EUV-onderzoek
● Maskeraligners
● Vacuümcoaten, dunne filmafzetting
● Afdruktoepassingen
● Optiek

Front-end en back-end processen