Halfgeleider

BSLtech Semiconductor OPLOSSING

Het ontwikkelen van uw expertise binnen de halfgeleiderindustrie vereist vaak cleanrooms of laminaire flowkasten met een hoge ISO-klasse (ISO 5 of hoger). Heeft u te maken met uv-gevoelige processen? Ook dan biedt BSL de juiste cleanroom. De cleanrooms hebben een hoogwaardige wandafwerking en zijn voorzien van verlichting met uv-filter. Door gebruik te maken van antistatische (ESD) materialen en ionisatiestaven op het filtersysteem, neutraliseert u de statische lading in de lucht.

Wanneer ontgassing niet gewenst is, biedt BSL een cleanroom met niet-uitgassende materialen (PU). Deze technologie vindt zijn oorsprong in de lucht- en ruimtevaartindustrie.

Typische processen in de halfgeleiderindustrie:

● Bescherming van substraten en siliciumwafers
● EUV-onderzoek
● Maskeruitlijners
● Vacuümcoating, dunnefilmafzetting
● Afdruktoepassingen
● Optica

Front-end- en back-endprocessen