Standaardisatie van schone kamers

In de Verenigde Staten werd tot eind november 2001 federale standaard 209E (FED-STD-209E) gebruikt om eisen voor cleanrooms te definiëren. Op 29 november 2001 werden deze normen vervangen door de publicatie van ISO-specificatie 14644-1. Een cleanroom die wordt gebruikt voor productie of wetenschappelijk onderzoek is doorgaans een gecontroleerde omgeving met weinig verontreinigingen, zoals stof, microben in de lucht, aërosoldeeltjes en chemische dampen. Om precies te zijn: de cleanroom kent een gecontroleerd vervuilingsniveau, dat wordt gespecificeerd door het aantal deeltjes per kubieke meter bij een bepaalde deeltjesgrootte. In een typische stedelijke omgeving bevat de buitenlucht 35 miljoen deeltjes per kubieke meter, met een diameter van 0,5 micron of groter, wat overeenkomt met een ISO 9-cleanroom op het laagste niveau van de cleanroomnorm. Schone kamers worden geclassificeerd op basis van de zuiverheid van de lucht. In de Amerikaanse Federal Standard 209 (A tot en met D) wordt het aantal deeltjes gelijk aan of groter dan 0,5 mm gemeten in 1 kubieke voet lucht, en deze telling wordt gebruikt om cleanrooms te classificeren. Deze metrische nomenclatuur wordt ook geaccepteerd door de nieuwste 209E-versie van de standaard. China gebruikt federale standaard 209E. De nieuwere standaard is de TC 209 van de International Standards Organization. Beide standaarden classificeren cleanrooms op basis van het aantal deeltjes in de laboratoriumlucht. De classificatienormen voor cleanrooms FS 209E en ISO 14644-1 vereisen specifieke metingen en berekeningen van het aantal deeltjes om het reinheidsniveau van een cleanroom of schoon gebied te classificeren. In het Verenigd Koninkrijk wordt de British Standard 5295 gebruikt om cleanrooms te classificeren. Deze norm zal binnenkort worden vervangen door BS EN ISO 14644-1. Schone kamers worden geclassificeerd op basis van het aantal en de grootte van de deeltjes die per volume lucht zijn toegestaan. Grote getallen zoals "Klasse 100" of "Klasse 1000" verwijzen naar FED_STD209E, die het toegestane aantal deeltjes van 0,5 mm of groter per kubieke voet lucht vertegenwoordigt.