Standaardisatie van schone kamers

In de Verenigde Staten werd tot eind november 2001 de federale norm 209E (FED-STD-209E) gebruikt om de eisen voor cleanrooms te definiëren. Op 29 november 2001 werden deze normen vervangen door de publicatie van ISO-specificatie 14644-1. Een cleanroom die wordt gebruikt voor productie of wetenschappelijk onderzoek is doorgaans een gecontroleerde omgeving met lage niveaus van verontreinigende stoffen, zoals stof, in de lucht zwevende microben, aerosoldeeltjes en chemische dampen. Om precies te zijn, de cleanroom heeft een gecontroleerde vervuilingsgraad, die wordt gespecificeerd door het aantal deeltjes per kubieke meter bij een bepaalde deeltjesgrootte. In een typische stedelijke omgeving bevat de buitenlucht 35 miljoen deeltjes per kubieke meter, met een diameter van 0,5 micron of groter, wat overeenkomt met een ISO 9 cleanroom op het laagste niveau van de cleanroomnorm. Cleanrooms worden geclassificeerd op basis van de zuiverheid van de lucht. In de Amerikaanse federale norm 209 (A tot en met D) wordt het aantal deeltjes gelijk aan of groter dan 0,5 mm gemeten in 1 kubieke voet lucht, en dit aantal wordt gebruikt om cleanrooms te classificeren. Deze metrische nomenclatuur wordt ook geaccepteerd door de nieuwste versie 209E van de norm. China gebruikt federale norm 209E. De nieuwere norm is TC 209 van de International Standards Organization. Beide normen classificeren cleanrooms op basis van het aantal deeltjes in de laboratoriumlucht. De cleanroomclassificatienormen FS 209E en ISO 14644-1 vereisen specifieke deeltjestellingen en -berekeningen om het reinheidsniveau van een cleanroom of clean area te classificeren. In het Verenigd Koninkrijk wordt British Standard 5295 gebruikt om cleanrooms te classificeren. Deze norm zal binnenkort worden vervangen door BS EN ISO 14644-1. Cleanrooms worden geclassificeerd op basis van het aantal en de grootte van de deeltjes die per luchtvolume zijn toegestaan. Grote getallen zoals "Klasse 100" of "Klasse 1000" verwijzen naar FED_STD209E en staan ​​voor het aantal deeltjes van 0,5 mm of groter dat per kubieke voet lucht is toegestaan.