Vereisten voor windsnelheid en luchtverversing in schone ruimtes

Voldoende ventilatievolume is bedoeld om vervuilde binnenlucht te verdunnen en te verwijderen, volgens verschillende reinheidsvereisten, wanneer deschone kamerDe nettohoogte is hoger, de juiste toename van het aantal luchtwisselingen. Hiervan wordt het ventilatievolume van 1 miljoen cleanrooms beschouwd volgens het hoogrendementszuiveringssysteem [7], en de rest wordt beschouwd volgens het hoogrendementszuiveringssysteem. Wanneer het HEPA-filter van 100.000 cleanrooms centraal in de machinekamer of aan het einde van het systeem is geplaatst, kan het aantal luchtwisselingen op passende wijze met 10-20% worden verhoogd.

Voor de hierboven aanbevolen waarde van het ventilatievolume is de auteur van mening dat de windsnelheid door het kamergedeelte van de unidirectionelestroom schone kameris laag en de turbulentie in een cleanroom is de aanbevolen waarde met een hogere veiligheidsfactor. Verticale unidirectionele stroming ≥ 0,25 m/s, horizontale unidirectionele stroming ≥ 0,35 m/s, in lege toestand of statische detectie van reinheid, hoewel deze aan de eisen kan voldoen, is het anti-vervuilingsvermogen slecht. Zodra de binnenruimte in werkende staat is, voldoet de reinheid mogelijk niet aan de eisen. Dergelijke voorbeelden zijn niet individueel. Tegelijkertijd is de Chinese ventilatorserie nog niet geschikter gebleken voor het zuiveringssysteem van de ventilator. De algemene ontwerper berekent de luchtweerstand van het systeem vaak niet nauwkeurig of let er niet op of de geselecteerde ventilator zich in de karakteristieke curve van het gunstigste werkpunt bevindt, waardoor het systeem kort daarna in werking treedt, maar het luchtvolume of de windsnelheid de ontwerpwaarde niet kan bereiken. De federale norm van de Verenigde Staten (FS209A~B) is vastgesteld vóór 27 oktober 1987: De luchtstroomsnelheid van een unidirectionele cleanroom door het cleanroomgedeelte wordt gewoonlijk gehandhaafd op 900 psi/min (0,45 m/s). Indien er geen interferentie in de gehele ruimte is, bedraagt ​​de snelheidsuniformiteit maximaal ±20%. Elke significante afname van de luchtstroomsnelheid verhoogt de kans op besmetting tussen de zelfreinigende tijd en de werkpositie (alle parameters, behalve de stofconcentratie, zijn niet meer gespecificeerd na de afkondiging van FS209C in oktober 1987).

De auteur is van mening dat het gepast is om de huidige binnenlandse ontwerpwaarde van de unidirectionele stroomsnelheid te verhogen. Onze eenheid in het project doet dit om het effect te verbeteren. Een cleanroom met turbulentie is een aanbevolen waarde met een hogere veiligheidsfactor, maar veel ontwerpers zijn er nog steeds niet van overtuigd dat bij het specifieke ontwerp het ventilatievolume van de cleanroom met 100.000 niveaus wordt verhoogd tot 20 tot 25 keer per uur, het niveau met 10.000 niveaus tot 30 tot 40 keer per uur en het niveau met 1000 niveaus tot 60 tot 70 keer per uur. Dit verhoogt niet alleen de capaciteit van de apparatuur en verhoogt de initiële investering, maar verhoogt ook de kosten van toekomstig onderhoud en beheer, en is niet nodig. Nederlands Bij het voorbereiden van de technische maatregelen voor luchtreiniging in China [7] werden meer dan 100 huishoudelijke cleanrooms onderzocht en gemeten, en veel cleanrooms werden nog steeds getest onder dynamische omstandigheden, en de resultaten toonden aan dat het ventilatievolume van 100.000 klasse ≥10 keer /u, 10.000 klasse ≥20 keer /u en 1000 klasse ≥50 keer /u aan de eisen kon voldoen. De federale norm van de Verenigde Staten (FS2O9A~B) bepaalt dat een cleanroom met niet-unidirectionele stroming (klasse 100.000, klasse 10.000), kamerhoogte 8~l2ft(2,44~3,66m), gewoonlijk de hele kamer minstens één keer per 3 minuten in aanmerking neemt (dat wil zeggen 20 keer /u). Daarom hebben de bepalingen van de ontwerpspecificatie [6] rekening gehouden met de grotere welvaartscoëfficiënt, en kan de ontwerper veilig kiezen op basis van de aanbevolen waarde van het ventilatievolume.