Schone kamer windsnelheidseisen en luchtveranderingen

Voldoende ventilatievolume is bedoeld om vervuilde binnenlucht te verdunnen en te elimineren, volgens verschillende reinheidseisen, wanneer deschone kamerde netto hoogte hoger is, de passende toename van het aantal luchtverversingen. Daarvan wordt het ventilatievolume van 1 miljoen cleanrooms beschouwd volgens het hoogefficiënte zuiveringssysteem [7], en de rest volgens het hoogefficiënte zuiveringssysteem. Wanneer het HEPA-filter voor cleanrooms van klasse 100.000 centraal in de machinekamer of aan het uiteinde van het systeem wordt geplaatst, kan het aantal luchtverversingen op passende wijze met 10-20% worden verhoogd.

Voor de hierboven aanbevolen waarde van het ventilatievolume is de auteur van mening dat de windsnelheid door het kamergedeelte unidirectioneel isstroom schone kameris laag en de turbulentie-cleanroom is de aanbevolen waarde met een volledigere veiligheidsfactor. Verticale unidirectionele stroom ≥0,25 m/s, horizontale unidirectionele stroom ≥0,35 m/s, in lege staat of statische detectie van reinheid, hoewel aan de eisen kan worden voldaan, maar het anti-vervuilingsvermogen is slecht, zodra het binnen in de werkende staat is , reinheid voldoet mogelijk niet aan de vereisten, dergelijke voorbeelden zijn niet individueel; Tegelijkertijd is de Chinese ventilatorserie nog niet geschikter voor het zuiveringssysteem van de ventilator, berekent de algemene ontwerper vaak niet nauwkeurig de luchtweerstand van het systeem, of let hij er niet op of de geselecteerde ventilator zich in de karakteristieke curve van het gunstiger werkpunt, zodat het systeem kort daarna in gebruik wordt genomen, kan het luchtvolume of de windsnelheid de ontwerpwaarde niet bereiken. De federale norm van de Verenigde Staten (FS209A~B) werd vóór 27 oktober 1987 vastgelegd: De luchtstroomsnelheid van een unidirectionele cleanroom door de cleanroomsectie wordt gewoonlijk gehandhaafd op 9Oft/min (0,45 m/s), en onder de voorwaarde Als er geen interferentie in de hele kamer is, ligt de snelheidsuniformiteit binnen ±20%. Elke significante afname van de luchtstroomsnelheid vergroot de kans op besmettingseffecten tussen de zelfreinigingstijd en de werkpositie (alle parameters behalve de stofconcentratie zijn niet gespecificeerd na de afkondiging van FS209C in oktober 1987).

Te dien einde denkt de auteur dat het passend is om de huidige binnenlandse ontwerpwaarde van unidirectionele stroomsnelheid op passende wijze te verhogen, onze eenheid in het daadwerkelijke project om dit te doen, het effect is beter. De cleanroom van het turbulentietype is een aanbevolen waarde met een grotere veiligheidsfactor, maar veel ontwerpers zijn er nog steeds niet zeker van dat bij het uitvoeren van het specifieke ontwerp het ventilatievolume van de cleanroom op 100.000 niveaus wordt verhoogd tot 20 ~ 25 keer / uur, het niveau van 10.000 is verhoogd tot 30 ~ 40 keer / uur, en het 1000-niveau wordt verhoogd tot 60 ~ 70 keer / uur, wat niet alleen de capaciteit van de apparatuur vergroot en ook de initiële investering verhoogt. Het verhoogt ook de kosten van toekomstig onderhoud en beheer, en dat is niet nodig. Bij het voorbereiden van de technische maatregelen voor luchtzuivering in China [7] werden meer dan 100 binnenlandse cleanrooms onderzocht en gemeten, en veel cleanrooms werden nog steeds getest onder dynamische omstandigheden, en de resultaten toonden aan dat het ventilatievolume van 100.000 graden ≥10 keer / uur, 10.000 kwaliteit ≥20 keer / uur en 1000 kwaliteit ≥ 50 keer / uur kunnen aan de vereisten voldoen. De federale norm van de Verenigde Staten (FS2O9A~B) bepaalt dat cleanrooms met niet-unidirectionele stroom (klasse 100.000, klasse 10.000), kamerhoogte 2,44~3,66 m (8~l2ft), doorgaans minstens één keer per 3 minuten naar de hele kamer kijken ( dat wil zeggen, 20 keer per uur). Daarom hebben de bepalingen van de ontwerpspecificatie [6] rekening gehouden met de grotere welvaartscoëfficiënt, en kan de ontwerper veilig kiezen op basis van de aanbevolen waarde van het ventilatievolume.