Secundair retourluchtschema voor airconditioningsysteem

De micro-elektronische werkplaats met een relatief klein cleanroomoppervlak en een beperkte straal van het retourluchtkanaal werd gebruikt om het secundaire retourluchtschema van het airconditioningsysteem toe te passen. Dit schema wordt ook vaak gebruikt inschone kamersin andere sectoren, zoals de farmaceutische sector en de medische zorg. Omdat het ventilatievolume dat nodig is om aan de eisen van de luchtvochtigheid in een schone kamertemperatuur te voldoen over het algemeen veel kleiner is dan het ventilatievolume dat nodig is om het reinheidsniveau te bereiken, is het temperatuurverschil tussen de toevoerlucht en de retourlucht klein. Als het primaire retourluchtschema wordt gebruikt, is het temperatuurverschil tussen het toestandspunt van de toevoerlucht en het dauwpunt van de airconditioning groot. Er is secundaire verwarming nodig, wat resulteert in de compensatie van de koude warmte in het luchtbehandelingsproces en een hoger energieverbruik. . Als het secundaire retourluchtschema wordt gebruikt, kan de secundaire retourlucht worden gebruikt ter vervanging van de secundaire verwarming van het primaire retourluchtschema. Hoewel de aanpassing van de primaire en secundaire retourluchtverhouding iets minder gevoelig is dan de aanpassing van de secundaire warmte, wordt het secundaire retourluchtschema algemeen erkend als een energiebesparende maatregel voor airconditioning in kleine en middelgrote micro-elektronische schone werkplaatsen. .

Neem als voorbeeld een schone micro-elektronica-werkplaats van ISO-klasse 6, een schone werkplaats van 1.000 m2 en een plafondhoogte van 3 meter. Interieurontwerpparameters zijn temperatuur tn= (23±1) ℃, relatieve vochtigheid φn=50%±5%; Het ontwerpluchttoevoervolume bedraagt ​​171.000 m3/u, ongeveer 57 uur-1 luchtuitwisselingstijden, en het verse luchtvolume is 25.500 m3/u (waarvan het procesafvoerluchtvolume 21.000 m3/u is en de rest 21.000 m3/u). positieve druk lekkage luchtvolume). De voelbare warmtebelasting in de schone werkplaats is 258 kW (258 W/m2), de warmte/vochtigheidsverhouding van de airconditioner is ε=35.000 kJ/kg en het temperatuurverschil van de retourlucht in de kamer is 4,5 ℃. Op dit moment bedraagt ​​het primaire retourluchtvolume
Dit is momenteel de meest gebruikte vorm van zuivering van airconditioningsystemen in de cleanroom van de micro-elektronica-industrie. Dit type systeem kan hoofdzakelijk in drie typen worden verdeeld: AHU+FFU; MAU+LBK+FFU; MAU+DC (droge spoel) +FFU. Elk heeft zijn voor- en nadelen en geschikte plaatsen, het energiebesparende effect hangt vooral af van de prestaties van het filter en de ventilator en andere apparatuur.

1) LBK+FFU-systeem.

Dit type systeemmodus wordt in de micro-elektronica-industrie gebruikt als “de manier om de airconditioning- en zuiveringsfase te scheiden”. Er kunnen twee situaties zijn: de ene is dat het airconditioningsysteem alleen verse lucht verwerkt, en dat de behandelde verse lucht alle warmte- en vochtigheidsbelasting van de cleanroom draagt ​​en fungeert als aanvullende lucht om de afgevoerde lucht en positieve druklekkage in evenwicht te brengen. van de cleanroom wordt dit systeem ook wel MAU+FFU-systeem genoemd; De andere is dat het verse luchtvolume alleen niet voldoende is om te voldoen aan de koude- en warmtebelastingsbehoeften van de cleanroom, of omdat de verse lucht wordt verwerkt van de buitenlucht naar het dauwpunt. Het specifieke enthalpieverschil van de vereiste machine is te groot. en een deel van de binnenlucht (equivalent aan retourlucht) wordt teruggevoerd naar de airconditioningbehandelingsunit, gemengd met de verse lucht voor warmte- en vochtigheidsbehandeling, en vervolgens naar het luchttoevoerplenum gestuurd. Gemengd met de resterende retourlucht in de cleanroom (equivalent aan secundaire retourlucht), komt het de FFU-unit binnen en stuurt deze vervolgens naar de cleanroom. Van 1992 tot 1994 werkte de tweede auteur van dit artikel samen met een Singaporees bedrijf en leidde meer dan tien afgestudeerde studenten om deel te nemen aan het ontwerp van de Amerikaans-Hong Kong joint venture SAE Electronics Factory, die de laatstgenoemde vorm van zuiverende airconditioning en ventilatiesysteem. Het project beschikt over een ISO klasse 5 cleanroom van circa 6.000 m2 (waarvan 1.500 m2 in opdracht van de Japan Atmospheric Agency). De airconditioningruimte is evenwijdig aan de kant van de cleanroom langs de buitenmuur opgesteld en alleen grenzend aan de gang. De verse lucht-, afvoerlucht- en retourluchtleidingen zijn kort en soepel aangelegd.

2) MAU+AHU+FFU-schema.

Deze oplossing wordt vaak aangetroffen in micro-elektronica-installaties met meerdere temperatuur- en vochtigheidsvereisten en grote verschillen in warmte- en vochtigheidsbelasting, en het reinheidsniveau is ook hoog. In de zomer wordt de verse lucht gekoeld en ontvochtigd tot een vast parameterpunt. Het is doorgaans passend om de frisse lucht te behandelen tot het snijpunt van de isometrische enthalpielijn en de 95% relatieve vochtigheidslijn van de cleanroom met representatieve temperatuur en vochtigheid of de cleanroom met het grootste volume verse lucht. Het luchtvolume van MAU wordt bepaald op basis van de behoeften van elke cleanroom om de lucht aan te vullen, en wordt met leidingen naar de LBK van elke cleanroom gedistribueerd volgens het vereiste volume verse lucht, en wordt gemengd met wat retourlucht binnenshuis voor warmte en vochtbehandeling. Deze unit draagt ​​alle hitte- en vochtigheidsbelasting en een deel van de nieuwe reumabelasting van de cleanroom die hij bedient. De lucht die door elke LBK wordt behandeld, wordt naar het toevoerluchtplenum in elke schone kamer gestuurd en na secundaire menging met de binnenretourlucht door de FFU-unit de kamer in gestuurd.

Het belangrijkste voordeel van de MAU+AHU+FFU-oplossing is dat deze niet alleen zorgt voor zuiverheid en positieve druk, maar ook voor de verschillende temperaturen en relatieve vochtigheid die nodig zijn voor de productie van elk cleanroomproces. Echter, vaak als gevolg van het aantal opgestelde luchtbehandelingsunits, is de ruimte in de kamer groot, is de frisse lucht in de schone kamer, retourlucht, luchttoevoerleidingen kriskras, bezetten ze een grote ruimte, is de lay-out lastiger, is onderhoud en beheer moeilijker en complex, daarom geen speciale vereisten om het gebruik zoveel mogelijk te vermijden.